바이오나노학부 나노 工學experiment(실험) 리포트 CFL Capillary Force Lithography
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작성일 20-10-12 16:10
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이 CFL은 한마디로 열을 가해서 고분자의 유동성을 유발하는 nanoimprinting과 microcontact printing의 결합 형태이다. 고분자는 PS를 사용하였다. 그리고 패턴을 형성하는 과정에서 고분자의 얇은 층 이 직접 노출이 되기 때문에 후에 etching을 할 필요가 없다는 長點을 가진 다.
2. 실험 이론(理論)
- Elastomeric mold로서 PDMS를 사용하였다.
바이오나노학부 나노 工學experiment(실험) 리포트 CFL Capillary Force Lithography
나노 工學(공학) 실험 레포트(report)
Capillary Force Lithography
바이오나노학부
1. Introduction
- 이번 실험의 목적은 고분자의 pattern을 만드는 것이다. oven에서 굳이는 과정중에 위로 …(투비컨티뉴드 )
바이오나노학부 나노 工學experiment(실험) 리포트 CFL Capillary Force Lithography
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설명
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실험결과/기타
다.
PDMS mold를 Master위에 올려놓을 때 PDMS의 자체적인 wetting의 성질이 있지만 작은 흠이나 기포가 생기지 않도록 주의해야한다. 그 결과 imprint의 뛰어난 패턴 형성과 압력을 가할 필요가 없는 microcontact의 長點을 동시에 갖는다. 이는 substrate에 두꺼운 polymer layer를 형성하여 elastomeric mold(탄성체 주형)에 용매를 wetting 하여표면에 thin layer만 패턴을 형성하는 방법이다. 이 방법에는 약간의 단점이 존재하는데, 이 단점을 극복하기 위해 Solvent-assisted microcontact molding이 개발되었다. 단순히 Mask를 놓고 찍어내는 방식이 아니라 고분자의 capillary force를 이용해서 넓은 범위의 pattern을 나타낼 것이다. Capillary force는 고분자 patterning에서 중요한 concept(개념)이 된다 액체가 모세관을 적시면, 낮은 Gibbs free energy를 가지게 된다 이 wetting이 Capillary를 일으킨다고 할 수 있다 대표적인 방법이 micromolding in capillary 이다.
